MIS TАGLIK АSOSDА GRАFEN DOMENLАRINING SINTEZI VА MORFOLOGIYАSINI TАDQIQ QILISH

Аннотация

Эта статья представляет экспериментальные результаты по синтезу графена методом химического осаждения из паровой фазы на медной подложке. Описана схема осаждения из газовой фазы, в которой аргон использовался для охлаждения медной подложки толщиной 100 мкм, а метан применялся в качестве исходного газа. В статье определяются температурные режимы, давление газа и скорость охлаждения, влияющие насинтез графеновых пленок. Оптическая и сканирующая электронная микроскопия были использованы для изучения морфологии поверхности медной подложки с выросшими на ней графеновыми доменами и для исследования микроструктуры поверхности пленки. Показано, что прямоугольные фрагменты графена с структурными дефектами образовались по всей поверхности подложки. На основе отношения интенсивности полос врамановскихспектрах показано образованиемногослойного графена. Ключевые слова: Графен,углерод, медная подложка, пикосекундные лазеры, оптический микроскоп,СЭМ.