Қийин эрувчи элементлар билан лигерланган кремний ва кремнийли структураларда нуқсонлар ҳосил бўлиш жараёнлари

Аннотация

Бугунги кунда бутун дунёда микроэлектрониканинг ривожланиш тенденциялари тахлили шуни курсатадики, келажакда ишлаб чиқариладиган микросхемаларнинг аксариятини асосий элементи МДЯ (металл-диэлектрик- яримўтказгич) структуралар бўлган рақамли логик интеграл микросхемалар ташкил килади. Ракамли ва аналогли сигналларни кайта ишлаш курилмаларида заряд богловчи асбоблар (ЗБА) хозиргача ишлатилмокда, қаттик жисмли фотокабулкилувчи қурилмалар сифатида-фотосезгирли ЗБА қурилмаларининг ишлаши хам МДЯ-структураларга асосланган.