Катта ўлчамли монокристал кремний асосида икки координат сезувчанли детекторлар ишлаб чиқариш технологияси

Аннотация

Ҳозирги кунда дунёда медицина диагностика тизимида қўллаш учун катта ўлчамли яримўтказгичли координат-сезувчанли детекторларга алоҳида эътибор берилмоқда. Бу борада мақсадли илмий тадқиқотларни, жумладан, қуйидаги йўналишлардаги илмий изланишларни амалга ошириш муҳим вазифалардан ҳисобланади: катта диаметрли (∅>100÷120 мм) координат-сезувчанли детекторлар функционал характеристикаларини кенгайтириш имконларини аниқлаш; монокристал кремний асосида ионловчи нурланишли яримўтказгичли координат-сезувчанли детекторларининг технологик жараёнларини мукаммаллаштириш усулларини ишлаб чиқиш; кремнийли p–i–n-структур асосида катта ўлчамли координат-сезувчан детекторлар параметрларини яхшилаш йўлларини аниқлаш, гетеротизим асосидаги яримўтказгичли координат-сезувчанли детектор ишлаб чиқиш ва уларнинг спектрометрик характеристикаларини оптималлаштириш.