Влияние стехиометрического состава на функциональные характеристики тонкопленочных поверхностных структур на узлах гироскопических приборов

Аннотация

Приводятся результаты исследований влияния стехиометрии на свойства тонкопле-ночных покрытий из нитрида титана на узлах поплавкового и электростатического гироскопов. Представлены результаты исследования механических и оптических характеристик тонкопленочных структур нитрида титана: микро твёрдость, сопротив-ление износу и трению, а также контрастность изображения, которая определяется коэффициентами отражения базовой поверхности нитрида титана и растрового рисунка, сформированного методом локального лазерного окисления.