"Зародышевые" трещины на поверхности кристалла кремния

Аннотация

Методами интерференционной профилометрии белого света и фотолюминесцентной спектроскопии (PL) исследована поверхность (100) кристалла кремния после резки заготовки алмазным диском и последующей полировки. Обнаружено, что она покрыта „бороздками". Их длина — 1 0 -4 0 jum, а глубина квантована — имеет 4 преимущес-твенyых значения — 1, 2.6, 3.6 и 4.5 п т. В спектрах PL поверхности наблюдали 4 полосы — 1.63, 1.62, 1.68 и 2.25eV, которые возникают из-за конфайнмента, т.е. увеличения ширины запрещенной зоны и нарушением закона сохранения импульса в нанокристаллах.