Исследование тепло- массообмена в процессах получения монокристаллических полупроводниковых материал и теплообмен в каналах

Аннотация

На базе решения уравнений пограничного слоя рассматривается течение жидкого материала в тигле в установках для получения монокристаллов полупроводников по способу Чохральского. Изучается влияние на течение в области под кристаллом геометрических размеров тигля, формы поверхности фронта кристаллизации кристалла, а также величин и взаимного направления угловых скоростей вращения тигля и кристалла. Результаты теоретического анализа течения согласуются с опытными данными, полученными на модели.