Структурные характеристики выращенных методом RF-катодного Напыления тонких пленок Sr0.6iBao.39Nb206/MgO(001)

Аннотация

Методом RF-катодного распыления в атмосфере кислорода получены тонкие пленки конгруэнтного состава системы твердых растворов ниобатов бария-стронция Sro,6i BaojoNbjOs (SBN:61) толщинами от 30 до 6 3 0 п т на подложке MgO(OOl). По данным рентгендифракционного анализа установлено, что пленки являются беспримесными и монокристаллическими. В пленках практически отсутствуют деформации элементарной ячейки в плоскости сопряжения и присутствуют растягивающие напряжения в направлении нормали к поверхности, которые увеличиваются при уменьшении толщины пленки. Диэлектрические измерения свидетельствуют о высокой управляемости в пленках.