Две стадии роста кластеров La0.7Sr0 3М п03 в магнетронной плазме при модуляции потока частиц ионно-звуковой волной и осаждении его на стекло

Аннотация

Исследованы пленки с аморфной структурой, полученные магнетронным распылением мишени LaoлЗго зМпОз, что дало возможность изучить кинетику кластеризации магнетронной плазмы при движении потока взаимодействующих частиц, с формированием сначала локальных атомных конфигураций докластерного уровня (первая стадия кластеризации) и последующим осаждением потока на протяженной стеклянной подложке (вторая стадия формирования разномасштабных кластеров). Показано, что немонотонность в изменении атомного порядка и свойств образцов при удалении от мишени обусловлена присутствием в потоке разновалентных ионов марганца и их пространственной модуляцией ионно-звуковой волной. Установлено, что ионы Мп3+ и Мп4+ содержатся во фрагментах плоскостей (131)—R; (203)—R; (212)—О; (003)-О , принадлежащих разномасштабным кластерам.