Проявление квантоворазмерных эффектов в нанокристаллах и аморфных нанокластерах германия в пленках GeSixOy

Аннотация

Отжиги вызывают трансформацию структуры пленок и меняют вид спектров ФЛ. В пленках, содержащих нанокластеры германия, наблюдается ФЛ с максимумом 1400-1600 п т. При этом уменьшился сигнал ФЛ от дефектов. Исследована температурная зависимость интенсивности пиков ФЛ, она падала с ростом температуры, но сохранялась при температурах до 200 К. Обсуждается вклад в ФЛ от нанокристаллов германия, формируемых при отжигах.