Создание и исследования структур металл—диэлектрик-полупроводник на основе сегнетоэлектрических пленок

Аннотация

Экспериментально установлено,что увеличение температуры синтеза приводит к улучшению диэлектрических и пьезоэлектрических свойств сегнетоэлектрических пленок. Показана температурная стабильность и устойчивость в поведении вольтфарадных характеристик МДП-структур от числа циклов переключения.