Вариация состояния поверхности в ходе сканирования в низковольтном РЭМ и ее влияние на размеры рельефной структуры

Аннотация

Оценена вариация эмиссии медленных вторичных электронов из поверхности рельефных структур (выступов) в ходе длительного их сканирования в низковольтном растровом электронном микроскопе.Характер вариации зависит от участка профиля выступа, он особенно сложен вблизи углов рельефных структур. В результате искажаются соответствующие участки кривой видеосигнала от выступа, что приводит к увеличению или даже к уменьшению геометрических размеров этих участков.