Плавление и электромиграция в тонких пленках хрома

Аннотация

Пленки хрома толщиной 10 -40 nm, нанесенные на кремниевые подложки при помощи магнетронного осаждения, были подвергнуты воздействию электрического тока, индуцированного зондом атомно-силового микроскопа (ACM) в воздушной среде при нормальных условиях. Плавление на наноуровне, миграция материала, вызванная электрическим током и химическая реакция окисления хрома были исследованы с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), атомной силовой микроскопии (ACM) и спектроскопии комбинационного рассеяния света в кратерах плавления около области воздействия.