К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU2022

Режимы роста пленок нитрида алюминия на гибридных подложках SiC/Si(111)

А.А. Корякин · С.А. Кукушкин и др

Научные статьи · 2022

Аннотация

Определены температурные области и области давлений паров компонентов, в которых реализуются островковый и послойный механизмы роста. Теоретические выводы сравниваются с экспериментальными данными. Предлагаются способы управления сменой механизма роста от островкового к послойному.

Доказательный фрагмент

«Определены температурные области и области давлений паров компонентов, в которых реализуются островковый и послойный механизмы роста.»

Образец извлечения

Демо-превью

Определены температурные области и области давлений паров компонентов, в которых реализуются островковый и послойный механизмы роста. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники