Исследование электрофизических свойств Si-SiO2 систем и кинетики начальной стадии образования пленок диоксида кремния

Анализ научных публикаций и патентных исследований за последние тридцать лет в Республике Узбекистан и в семи ведущих странах, показал, что изучение физических и физико-химических свойств поверхностей чистого и окисле… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.