К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU2016

Турли энергияли ионлар имплантация килиш оркали силицид наноплёнкалар хосил қилиш

Б.Х. Рихситилласв · И.Р. Бекиулатов

Научные статьи · 2016

Аннотация

Кейинги йилларда яримутказгичлар сиртида силиқид нанопаёнкаларни ионлар имплантацияси усули ёрдамида хосил қилиш ва уларнинг хосаларини ўргаиш, объектларни ҳосил қилиш жуда истиқболли масала хисобланади ва бундай силиқид плёикалар иоилар имптитацияси усулида хосил қилинади. Натижалар шуии курсатадики, олинаётган силицид плёнкалардан амалий ва илмий натижалар олиш мумкин.

Доказательный фрагмент

«Кейинги йилларда яримутказгичлар сиртида силиқид нанопаёнкаларни ионлар имплантацияси усули ёрдамида хосил қилиш ва уларнинг хосаларини ўргаиш, объектларни ҳосил қилиш жуда истиқболли масала хисобланади ва бундай сили…»

Образец извлечения

Демо-превью

Кейинги йилларда яримутказгичлар сиртида силиқид нанопаёнкаларни ионлар имплантацияси усули ёрдамида хосил қилиш ва уларнинг хосаларини ўргаиш, объектларни ҳосил қилиш жуда истиқболли масала хисобланади ва бундай сили… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники

[2]ТехникаENРецензированоОткрытый доступ
RESEARCH RESULTS CLEANING GRAIN HARVEST COMBINE HARVESTER

ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙЭлмурод Сотволдиевич Умаров, Зиёдбек Шавкатович Халилов +12021

5