Эффект „стабилизации" кислородного содержания в пленках Lа0.8.Sr0.2MпO3.6 при термообработке на воздухе

Аннотация

В серии эпитаксиальных пленок Lао0.8.Sr0.2MпO3.6толщиной 12-75 nm на NdGaOi подложках косвенным методом количественно изучена вариация кислородного содержания в процессе их термообработки на воздухе в диапазоне температур 873—1073 К. Приведены экспериментальные и расчетные временные зависимости изменения кислородного содержания в пленках с учетом эффекта неоднородной диффузии кислорода по толщине пленок, позволяющие сделать оптимальный выбор температуры и продолжительности процедуры термообработки. В пленках толщиной 25-75 nm обнаружен эффект „стабилизации" кислородного содержания, свидетельствующий о наличии энергетического барьера, препятствующего встраиванию избыточного атома кислорода в приповерхностный слой пленки при оптимальных условиях термообработки.