К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU2018

Исследование оптического Мо/Мо нанокристаллического покрытия, полученного напылением с одновременным ионным распылением

А.В. Рогов · Ю.В. Мартыненко · Ю.В. Капустин · С. С. Фанченко · Н.Е. Белова

Научные статьи · 2018

Аннотация

Представлены результаты исследования структуры, оптических свойств и стойкости к распылению отражающего Мо-покрытия, полученного методом магнетронного напылении с одновременным низкоэнергетическим ионным распылением в режиме превышения скорости напыления над скоростью травления. В качестве подложки использовалось Мо-поликристаллическое зеркало. Показано, что покрытие, сформированное в таких условиях, имеет текстурированную нанокристаллическую структуру с малым разбросом размеров кристаллитов и обладает высокой устойчивостью к распылению.

Доказательный фрагмент

«Представлены результаты исследования структуры, оптических свойств и стойкости к распылению отражающего Мо-покрытия, полученного методом магнетронного напылении с одновременным низкоэнергетическим ионным распылением в…»

Образец извлечения

Демо-превью

Представлены результаты исследования структуры, оптических свойств и стойкости к распылению отражающего Мо-покрытия, полученного методом магнетронного напылении с одновременным низкоэнергетическим ионным распылением в… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники

[2]ТехникаENРецензированоОткрытый доступ
RESEARCH RESULTS CLEANING GRAIN HARVEST COMBINE HARVESTER

ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙЭлмурод Сотволдиевич Умаров, Зиёдбек Шавкатович Халилов +12021

5