Турли энергияли ионлар имплантация килиш оркали силицид наноплёнкалар х,осил килиш

Аннотация

Кейинги йилларда яримутказгичлар сиртида силицид наноплёнкаларни ионлар имплантацияси усули ёрдамида ҳосил қилиш ва уларнинг хоссаларини ўрганиш шиддат билан ривожланмоқа. Кремний кристалларида бундай объектларни ҳосил қилиш жуда истқболли масала ҳисобланади ва бундай силицид плёнкалар ионлар имплантацияси усулида ҳосил қилинади. Натижалар шуни курсатадики, олинаётган силицид плёнкалардан амалий ва илмий натижалар олиш мумкин.