Обработка материалов плазмой тлеющего разряда

Аннотация

Плазма и пучки заряженных частиц получили широкое распространение как средство улучшения физических характеристик поверхности материалов и изделий. Особенно это относится к тлеющему разряду. Он существует при низком давлении, хорошо управляется электрическим полем и позволяет осаждать тонкие и весьма совершенные по структуре и составу модифицирующие покрытия.