Синтез пленок нанокристаллического графита в разряде с полым катодом

Аннотация

Представлены результаты экспериментов по получению пленок нанокристаллического графита в тлеющем разряде с полым катодом на подложку N i( l ll ) на сапфире. Приведены характеристики разряда для разных газов и давлений, измерены эмиссионные спектры плазмы и проведена характеризация получаемых слоев с помощью методов комбинационного рассеяния и атомно-силовой микроскопии. Также измерена автоэлектронная эмиссия нанокристаллического графита. Полученные слои обладают хорошей однородностью, высокой автоэлектронной эмиссией. Выявлено наличие вертикально растущего графена.