Научные статьиM.H.Sayidova, S.U.Pulatova2025
Comparing metal assisted chemical etching of N and P-type silicon nanostructures
Ohlin.H.
Научные статьи · 2023
Аннотация
Metal assisted chemical etching is a promising method for fabricating high aspect ratio micro- and nanostructures in silicon.
Доказательный фрагмент
«Metal assisted chemical etching is a promising method for fabricating high aspect ratio micro- and nanostructures in silicon.»
Образец извлечения
Демо-превьюMetal assisted chemical etching is a promising method for fabricating high aspect ratio micro- and nanostructures in silicon. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.
Смежные источники
Общество и инновацииKhosiyat MAMATKULOVA2024
Академические исследования в современной наукеKhudaiberdiyeva Arafat Israilovna, Ph.D Professor hudayberdiyevaarofat@gmail.com +12026
Научные статьиI.B.Yangiboyev, E.X.Berdanov +22025