К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоEN2023

Dry release of MEMS origami using thin Al2O3 films for facet-based device integration

Zhang.J.

Научные статьи · 2023

Аннотация

In recent years, more and more research was conducted to explore smaller and smaller systems that become similar to an actual micro/nano-robot.

Доказательный фрагмент

«In recent years, more and more research was conducted to explore smaller and smaller systems that become similar to an actual micro/nano-robot.»

Образец извлечения

Демо-превью

In recent years, more and more research was conducted to explore smaller and smaller systems that become similar to an actual micro/nano-robot. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники