К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU2022

О влиянии состава смеси CL2+O2-Ar на концентрации атомов хлора и кислорода в плазме

И. И. Амиров · М. О. Изюмов · А. М . Ефремов

Научные статьи · 2022

Аннотация

Исследовано влияние начального состава смеси СL2 + O2 + Аг на электрофизические параметры плазмы и стационарные концентрации атомарных частиц в условиях индукционного ВЧ (13.56 М Гц) разряда методом оптической эмиссионной спектроскопии.

Доказательный фрагмент

«Исследовано влияние начального состава смеси СL2 + O2 + Аг на электрофизические параметры плазмы и стационарные концентрации атомарных частиц в условиях индукционного ВЧ (13.56 М Гц) разряда методом оптической эмиссио…»

Образец извлечения

Демо-превью

Исследовано влияние начального состава смеси СL2 + O2 + Аг на электрофизические параметры плазмы и стационарные концентрации атомарных частиц в условиях индукционного ВЧ (13.56 М Гц) разряда методом оптической эмиссио… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники