Спектральный контроль процесса травления меди в высокочастотной плазме дифтордихлорметана

Аннотация

Получены и проанализированы спектры излучения плазмы ВЧ разряда дифтордихлорметана при травлении меди. Показано, что излучение плазмы ВЧ разряда представлено атомарными и молекулярные м и компонентами, предположено, что зависимости интенсивностей линий и полос от внешних условий разряда определяются возбуждением излучающих состояний при прямых электронных ударах. При этом их поведение хорошо согласуется с характером зависимостей скорости травления при тех же условиях