Влияние различных воздействий на состав и структуру поверхности кремния

В создании новых приборов электроники и оптики особое место занимает получение нано размерных многослойных гетеро структур, сверх решеток, квантовых ям на основе монокристаллов Si. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.