Медицина и инновацииМ Сабиров, О Скосырева +12021
Технология формирования кластеров германия в монокристаллического кремния
Н.Ф.Зикриллаев · Э.Б.Саитов · Ф.Тураев · Н.Шодиева
Научные статьи · 2019
Аннотация
В последнее время активно исследуются напряженные германийкремниевые гетероструктуры, получаемые методом МЛЭ. К ним относятся как структуры GexSij.x /Si со слоями толщиной в десятки и сотни нанометров, так и слои квантовых точек германия на кремнии
Доказательный фрагмент
«В последнее время активно исследуются напряженные германийкремниевые гетероструктуры, получаемые методом МЛЭ.»
Образец извлечения
Демо-превьюВ последнее время активно исследуются напряженные германийкремниевые гетероструктуры, получаемые методом МЛЭ. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.
Смежные источники
Научные статьиM.H.Sayidova, S.U.Pulatova2025
ЖУРНАЛ ПРАВОВЫХ ИССЛЕДОВАНИЙСуванов Сардор Бахадирович2026