Наука и технология в современном миреМирзаева Ширин Нодировна, Тахиров Чингиз Аъзамович +22026
Разработка оптимальной технологии термодатчиков на основе компенсированного кремния
Каримов А. С. · Шергозиев Ш. Б.
Научные статьи · 2021
Аннотация
В работе представлены результаты исследований по определению оптимальной примеси для создания высокоэффективных термодатчиков. В качестве легирующих примесей использовались марганец, никель и сера. Для получения термочувствительного элемента на пластинках монокристаллического кремния производилась диффузия атомов серы из газовой фазы.
Доказательный фрагмент
«В работе представлены результаты исследований по определению оптимальной примеси для создания высокоэффективных термодатчиков.»
Образец извлечения
Демо-превьюВ работе представлены результаты исследований по определению оптимальной примеси для создания высокоэффективных термодатчиков. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.
Смежные источники
ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙЭлмурод Сотволдиевич Умаров, Зиёдбек Шавкатович Халилов +12021
The American Journal of Applied sciencesUsmonova Manzura Isakovna, Umarova Nasiba Erkinovna +22021
The American Journal of Applied sciencesHydrogeological Conditions, J.X. Djumanov +22021