РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК ТРУДЫ ИНСТИТУТА ОБЩЕЙ ФИЗИКИ Том 62

Аннотация

История развития науки и техники неразрывно связана с развитием системы, методов и средств измерений. В конце XX и начале XXI века на передний план развития выдвинулись высокие технологии, главными из которых являются микроэлектроника и нанотехнология. Микроэлектроника оперирует с элементами, имеющими минимальные размеры (критические размеры) в сотни нанометров, и в ближайшие годы ожидается переход к десяткам нанометров (см. табл. 1) [1, 2], а нанотехнология оперирует с характерными размерами в единицы нанометров. При этом необходимо учесть, что развитие микроэлектроники идет опережающими темпами. Все это требует решения проблемы обеспечения единства линейных измерений в нанометровом диапазоне