К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU2018

Экспериментальные методы исследования многослойных структур металл-диэлектрик-полупроводник

И.Н.Каримов · М.З.Носиров

Научные статьи · 2018

Аннотация

В статье подробно проанализирован и описан метод DLTS в цифровом режиме, который используется для быстрой оценки параметров полупроводниковых структур. Анализ емкостных методов показал, что они являются оптимальным способом исследования электрофизических свойств многослойных полупроводниковых структур.

Доказательный фрагмент

«В статье подробно проанализирован и описан метод DLTS в цифровом режиме, который используется для быстрой оценки параметров полупроводниковых структур.»

Образец извлечения

Демо-превью

В статье подробно проанализирован и описан метод DLTS в цифровом режиме, который используется для быстрой оценки параметров полупроводниковых структур. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники