К содержанию
РецензированоRU2017

ИССЛЕДОВАНИЕ ПОДВИЖНОГО ЗАРЯДА В СЛОЕ SIO 2 В МДП СТРУКТУРАХ

И.Каримов

Научные статьи · 2017

Аннотация

В данной работе в целях изучения подвижного заряда в слое окисла МДП структур проводилась их терм поляризация в электрическом поле при различных температурах. Показано, что на таких структурах до облучения γ-квантами не отмечалось появления подвижного заряда и выращивание двуокиси кремния в хлорсодержащей среде приводит к стабилизации диэлектрических свойств окисла после γ-облучения.

Доказательный фрагмент

«В данной работе в целях изучения подвижного заряда в слое окисла МДП структур проводилась их терм поляризация в электрическом поле при различных температурах.»

Образец извлечения

Демо-превью

В данной работе в целях изучения подвижного заряда в слое окисла МДП структур проводилась их терм поляризация в электрическом поле при различных температурах. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники