Энергетические спектры поверхности твердых тел, имплантированных ионами низких энергий

Аннотация

Монография посвящена вопросам, связанным с диагностикой поверхности ионно-имплантированных материалов. Методами дифракции медленных электронов, измерения энергетических зависимостей коэффициентов вторичной электронной эмиссии, оже-электронной спектроскопии и спектроскопии потерь энергий электронов изучено влияние ионной имплантации на поверхностные свойства ряда металлов, полупроводников и диэлектрических пленок.