Радиационно-физическое исследование оптических характеристик тонких плёнок А2 В6 И А3 В5 и выявление распределений микродефектов в эпитаксиальных слоях

Аннотация

Актуальность работы. Полупроводниковые приборы па основе топких пленок начинают привлекать внимание исследователей п разработчиков в связи с микроминиатюризацией и небходимостыю уменьшения потребляемой энергии, обеспечения их экономичности. В этом аспекте имеются все предпосылки создания нового поколения приборов кванторазмерных эффектов, в с улучшенными параметрами на основе частности, с квантовыми ямами и точками.