Исследование влияния экстремальных воздействий на параметры структур металл-диэлектрик-полупроводник

Аннотация

Структуры металл-диэлектрик -полупроводник /МДП/ являются базовым элементом большинства современных полупроводниковых приборов и микросхем. Рабочий диапазон многих полупроводниковых приборов и микросхем ограничивается диапазоном применения МЯО структур, что накладывает дополнительные требования к более глубокому изучению физических процессов, протекающих в МДП структурах при экстремальных внешних воздействиях.