Влияние деформации на электрофизические и деградационные свойства компенсированного кремния и структур на его основе

Аннотация

В последние годы больше внимание уделяется исследованиям и разработкам электромеханических преобразователей и датчиков, основанных на полупроводниковых приборах. Увеличение чувствительности, расширение рабочей области температур и давлений, улучшение термо и радиационной стойкости таких приборов требует получения и исследования новых полупроводниковых материалов.