Электронная структура и свойства поверхности твердых тел, имплантированных ионами низких энергий

Аннотация

В последние годы возрос интерес к исследованию поверхности и приповерхностной области кристаллов. Это связано, в первую очередь, с тем, что многие свойства твердых тел в значительной мере определяются состоянием их поверхности и межфазных границ. Прогресс в микроэлектронике, в создании новейших элементов вычислительной техники, в технологии эпитаксиального роста к нанесения пленочных покрытий не возможен без развития такой области науки, как физика поверхности и границ раздела фаз.