Научные статьиM.H.Sayidova, S.U.Pulatova2025
ОБРАЗОВАНИЕ ВНЕДРЕННЫХ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ Si(111) И SiОх ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ИОНАМИ
Шаропов Уткиржон Баходирович
Научные статьи · 2022
Аннотация
Тўлиқ ток спектрометрия ва SRIM услуби ёрдамида кремний ва кремний оксид кристалини ионлар билан нурлантирилганда ҳосил бўлган киришма нуқсонлар ўрганилган. Сиртда оғир массали ионларга нисбатан кичик массали ионлар билан нурлатилганда кўпроқ киришма нуқсонларни ҳосил бўлиши кўрсатилган. Бунга оғир массали ионларнитг кристалл юзасидан ичкарига чуқурроқ кириб бориши сабаблиги кўрсатилган.
Доказательный фрагмент
«Тўлиқ ток спектрометрия ва SRIM услуби ёрдамида кремний ва кремний оксид кристалини ионлар билан нурлантирилганда ҳосил бўлган киришма нуқсонлар ўрганилган.»
Образец извлечения
Демо-превьюТўлиқ ток спектрометрия ва SRIM услуби ёрдамида кремний ва кремний оксид кристалини ионлар билан нурлантирилганда ҳосил бўлган киришма нуқсонлар ўрганилган. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.
Смежные источники
Общество и инновацииKhosiyat MAMATKULOVA2024
Академические исследования в современной наукеKhudaiberdiyeva Arafat Israilovna, Ph.D Professor hudayberdiyevaarofat@gmail.com +12026
Журнал универсальных научных исследованийAND RESTORATION, Khatamov Orif Yusupovich2024