Газли фазадан ва қисман ионлашган оқимлардан ўстириш орқали олинган SI/SI ва SI-GЕ/SI юпқа қатламли тузилма асосидаги иссиқлик энергиясини ўзгартиргич

Аннотация

Ҳозирги кунда ярим ўтказгичли асбобсозликнинг истиқболли йўналишларидан бири бўлган ўлчов датчиклар ва асбобларнинг ташқи таъсирларга, жумладан оптик ва иссиқлик нурларига сезгирлиги ҳамда ярим ўтказгичли материалларни қиздирганда содир бўладиган жараёнларни тадқиқ қилишга катта эътибор берилиб, ушбу тадқиқотлар уларнинг функционал имкониятларини кенгайтиришни таъминлайди. Дунёда, асосий хом-ашё материали кремний бўлган, самарали қайта тикланадиган энергия манбаларини яратиш йўлларини ўрганишга алоҳида эътибор қаратилмоқда. Бунда микро- ва оптоэлектроника каби йўналишларнинг ривожи кремний тузилишли юпқа плёнкаларни қўлланилишига асосланади, уларни тайёрлаш жараёнида плазма-кимёвий, пиролитик ва эпитаксиал усулда турли функционал вазифаларни бажарувчи (ишчи, ҳимоя, маскировка қилувчи, пассивлаштирувчи ва бошқалар) юпқа плёнкаларни ўстириш ўта муҳим ҳисобланади.