Ион-имплантация қилинган кремний ва юпқа силицид плёнкаларда электронларнинг плазмали тебранишларини уйғониши

Аннотация

Ҳозирги вақтда дунѐда замонавий диагностик техникалар, нанотехнологиялар ва наноқурилмалар кескин ривожланмоқда. Наносоҳада электроника элементлари ўлчамларининг кичрайиши ҳисобига уларнинг кристалл ва электрон тузилиши сезиларли даражада ўзгаради. Хусусан, ион-имплантация қилинган кремнийда аралашма атомларининг концентрациясига боғлиқ равишда юзавий ва ҳажмий плазмонларнинг энергияси камайиши кузатилган. Бу жиҳатдан исталган шаклга ва таркибга эга бўлган нанозаррачаларни синтез қилиш, нанозарра ва наноструктураларнинг хоссаларини батафсил ўрганиш, компьютерда моделлаштириш ҳамда оптималлаштириш учун юзавий, ҳажмий ва локаллашган плазмонлар хоссаларини ўрганиш замонавий электрониканинг долзарб вазифаларидан бири ҳисобланади.