Тонкие наноразмерные силицидные плёнки: получение и свойства

Книга рассчитана для научных работников, старших научных сотрудников-исследователей, магистрантов и студентов, специализирующихся в области физической электроники, материаловедения, наноэлектроники и нанотехнологии. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.