Электрические свойства пленок Ge HA GaAs сенсоры температуры на их основе

Аннотация

Современная полупроводниковая электроника немыслима без эпитаксиальных пленок и гетероструктур. Полупроводниковые гетероструктуры используются для создания целого ряда приборов таких, как гетеролазеры, фотоприёмники, различные дискретные СВЧ приборы и интегральные схемы. Большие перспективы, в настоящее время, связаны с получением и исследованием сверхрешеток и созданием на их основе приборов нового поколения.