Закономерности взаимодействия электронов с твердым телом и развитие методов анализа приповерхностных слоев материалов

Аннотация

Большой интерес к процессам взаимодействия ускоренных электронов с твёрдым телом обусловлен широкими возможностями использования электронных пучков как легко управляемого носителя энергии для высокоточной обработки материалов и функционирования разнообразных электронно-лучевых приборов, так и в качестве тонкого аналитического инструмента в материаловедении и физике поверхности, с помощью которого по характеристикам эмиттированных под действием облучения вторичных частиц и электромагнитного излучения молено получать информацию о физико-химических свойствах исследуемых объектов.