Электронно-спектроскопические исследования физических свойств эпитаксиальных комбинаций и ионно-имплантированных слоев в кремнии

Одной из основных причин интенсификации исследовательских работ в области синтеза многослойных эпитаксиальных гетероструктур является перспектива создания на их основе новых приборов твердотельной электроники с уникал… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.