Основы технологии электронных приборов

Аннотация

В книге изложены основы технологии производства электронных приборов; рассмотрены процессы очистки исходных материалов и готовых структур, формообразо­вания и обработки поверхности элементов ЭП, получения композиционных, монолит­ных и монокристаллических покрытий, формирования физико-химических и электрофизических свойств материалов ЭП, а также методы локальной микрообработки и создания межсоединений, технологические схемы изготовления дискретных электро­вакуумных, полупроводниковых приборов и интегральных микросхем и основные направления развития технологии.