К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU2001

Исследование термодинамических процессов очистки кремния и разработка системы контроля его качества

Б.Б.Чотонов

Диссертации и авторефераты · 2001

Аннотация

Диссертация посвящена определению и повышению качества кремния с помощью термодинамических расчетов и различных физических методов. В настоящее время кремний широко используется как главный полупроводниковый материал для создания приборов. Надежность работы полупроводниковых электронных приборов зависит от степени чистоты и качества кремния.

Доказательный фрагмент

«Диссертация посвящена определению и повышению качества кремния с помощью термодинамических расчетов и различных физических методов.»

Образец извлечения

Демо-превью

Диссертация посвящена определению и повышению качества кремния с помощью термодинамических расчетов и различных физических методов. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Просмотров
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники