Исследование примесных преципитатов никеля и их влияния на электрофизические свойства монокристаллов кремния

Аннотация

С термодинамической точки зрения появление дефектов в кристаллической решетке неизбежно. Поэтому наряду с попытками получения совершенных кристаллов необходимо выявить дефекты, который в наибольшей степени влияют на качество приборных структур и принимать меры для нейтрализации их вредного влияния. Этим вопросам посвящено большое число работ, выполненных во многих лабораториях мира и обобщенных в ряде монографий.