Влияния легирования кремния нетрадиционными примесями и ионизирующего облучения на характеристики границы раздела Si - SiO

Во введении кратко освещено современное состояние научной проблемы, отмечена актуальность темы исследования, сформулированы цели и основные задачи работы, изложена новизна и практическая значимость результатов приведе… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.