К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU1986

Оборудование полупроводникового производства

И. Г. Блинов · Л. В. Кожитов

Учебная литература · 1986

Аннотация

В учебном пособии изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами. и даны практические рекомендации по их реализации. Наряду с рассмотрением отдельных видов устройств отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов н интегральных микросхем.

Доказательный фрагмент

«В учебном пособии изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства.»

Образец извлечения

Демо-превью

В учебном пособии изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Просмотров
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники

[2]ТехникаENРецензированоОткрытый доступ
RESEARCH RESULTS CLEANING GRAIN HARVEST COMBINE HARVESTER

ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙЭлмурод Сотволдиевич Умаров, Зиёдбек Шавкатович Халилов +12021

5