К содержанию
CiteXCiteX — научный поиск с источниками
РецензированоRU1984

Физические основы электронной и ионной технологии

И. А. Аброян · А. Н. Андронов · А. И. Титов

Учебная литература · 1984

Аннотация

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом ; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхемка основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.

Доказательный фрагмент

«В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом ; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхемка основе полупроводниковы…»

Образец извлечения

Демо-превью

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом ; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхемка основе полупроводниковы… Полный текст публикации CiteX не хранит — доступ к первоисточнику открывается по DOI согласно лицензии издателя и выбранному плану.

DOI не указан
Цитирований
0
Просмотров
0
Тип
Журнал
Страна
Узбекистан
Спросить CiteX об этой работе

Смежные источники